Полупроводникови вакуумни помпи

Полупроводникови вакуумни помпи

Сърцето на производството на чисти помещения, полупроводниковите вакуумни помпи са прецизно-проектирани, за да отговорят на изключително строгите изисквания за производство на микроелектроника. Тези помпи са проектирани да осигурят идеално чиста, стабилна и-свободна от вибрации вакуумна среда, което е абсолютно критично за процеси, при които дори микроскопично замърсяване може да доведе до катастрофална повреда на продукта. продуктът универсално използва конструкции,-безмаслени и устойчиви-на корозия, като често се използват специализирани материали, които могат да издържат на агресивни технологични газове.

Описание на продуктите

 

Сърцето на производството в чисти помещения,Полупроводникови вакуумни помписа прецизно-проектирани, за да отговорят на изключително строгите изисквания за производство на микроелектроника. Тези помпи са проектирани да осигурят идеално чиста, стабилна и-свободна от вибрации вакуумна среда, което е абсолютно критично за процеси, при които дори микроскопично замърсяване може да доведе до катастрофална повреда на продукта.продуктуниверсално използват конструкции,{0}}безмаслени и устойчиви-на корозия, като често използват специализирани материали, които могат да издържат на агресивни процесни газове. Те постигат необходимите високи нива на вакуум, обикновено до 0,001 Pascal, с регулируеми скорости на потока и са проектирани да показват изключително ниски вибрационни профили, за да предотвратят увреждане на деликатни наноструктури.

 

Тяхната модулна философия на дизайна позволява лесно интегриране в сложни набори от инструменти и улеснява по-лесното обслужване, което е от решаващо значение за минимизиране на скъпо струващия престой на инструмента. Основното приложение наПолупроводникови вакуумни помпие, както подсказва името, в полупроводниковата индустрия, където се използват на практика във всяка стъпка от производството на чипове, от ецване и отлагане до йонна имплантация и литография. Те също са жизненоважни в свързани области като електронни опаковки и производство на фотоволтаични клетки. Освен в електрониката, тези помпи се използват в машини за каучук и пластмаса за обработка на високо-полупроводникови-материали с висока чистота. При опаковането на храни те помагат при разработването на специализирани опаковки за чувствителни електронни компоненти. В рамките на специални системи за вакуумно покритие,продуктса от съществено значение за извършване на процеси за нанасяне на-полупроводникови покрития, които изискват максимална чистота и надеждност. Когато успехът на вашия процес зависи от безупречен и непоколебим вакуум,Полупроводникови вакуумни помписа окончателното и надеждно решение.

 

Основни параметри

typeNumber

DLT.LG180

DLT.LG360

DLT.LG630

DLT.LG800

DLT.LG1100

Скорост на изпомпване, m3/h

143

354

625

780

994

Крайно налягане, Pa

2

2

1

1

1

Скорост на въртене, r/min

2900

2900

2900

2900

2900

Шум Lp, dB(A)

82

83

83

84

85

Максимална консумация на вода, L/min

8

15

25

35

45

Диаметър на входа, мм

50

50

65

100

100

Диаметър на изпускателния отвор, mm

40

40

50

80

80

Мощност на двигателя, kW

4

7.5

15

18.5

22

Тегло на главата на помпата, кг

245

350

550

630

780

Популярни тагове: полупроводникови вакуумни помпи, Китай полупроводникови вакуумни помпи производители, доставчици, фабрика

Изпрати запитване