Описание на продуктите
Сърцето на производството в чисти помещения,Полупроводникови вакуумни помписа прецизно-проектирани, за да отговорят на изключително строгите изисквания за производство на микроелектроника. Тези помпи са проектирани да осигурят идеално чиста, стабилна и-свободна от вибрации вакуумна среда, което е абсолютно критично за процеси, при които дори микроскопично замърсяване може да доведе до катастрофална повреда на продукта.продуктуниверсално използват конструкции,{0}}безмаслени и устойчиви-на корозия, като често използват специализирани материали, които могат да издържат на агресивни процесни газове. Те постигат необходимите високи нива на вакуум, обикновено до 0,001 Pascal, с регулируеми скорости на потока и са проектирани да показват изключително ниски вибрационни профили, за да предотвратят увреждане на деликатни наноструктури.
Тяхната модулна философия на дизайна позволява лесно интегриране в сложни набори от инструменти и улеснява по-лесното обслужване, което е от решаващо значение за минимизиране на скъпо струващия престой на инструмента. Основното приложение наПолупроводникови вакуумни помпие, както подсказва името, в полупроводниковата индустрия, където се използват на практика във всяка стъпка от производството на чипове, от ецване и отлагане до йонна имплантация и литография. Те също са жизненоважни в свързани области като електронни опаковки и производство на фотоволтаични клетки. Освен в електрониката, тези помпи се използват в машини за каучук и пластмаса за обработка на високо-полупроводникови-материали с висока чистота. При опаковането на храни те помагат при разработването на специализирани опаковки за чувствителни електронни компоненти. В рамките на специални системи за вакуумно покритие,продуктса от съществено значение за извършване на процеси за нанасяне на-полупроводникови покрития, които изискват максимална чистота и надеждност. Когато успехът на вашия процес зависи от безупречен и непоколебим вакуум,Полупроводникови вакуумни помписа окончателното и надеждно решение.
|
Основни параметри |
typeNumber |
||||
|
DLT.LG180 |
DLT.LG360 |
DLT.LG630 |
DLT.LG800 |
DLT.LG1100 |
|
|
Скорост на изпомпване, m3/h |
143 |
354 |
625 |
780 |
994 |
|
Крайно налягане, Pa |
2 |
2 |
1 |
1 |
1 |
|
Скорост на въртене, r/min |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
|
Шум Lp, dB(A) |
82 |
83 |
83 |
84 |
85 |
|
Максимална консумация на вода, L/min |
8 |
15 |
25 |
35 |
45 |
|
Диаметър на входа, мм |
50 |
50 |
65 |
100 |
100 |
|
Диаметър на изпускателния отвор, mm |
40 |
40 |
50 |
80 |
80 |
|
Мощност на двигателя, kW |
4 |
7.5 |
15 |
18.5 |
22 |
|
Тегло на главата на помпата, кг |
245 |
350 |
550 |
630 |
780 |
Популярни тагове: полупроводникови вакуумни помпи, Китай полупроводникови вакуумни помпи производители, доставчици, фабрика
